مجداف ناتئ من كربيد السيليكون
المنتج مفصل والتطبيق
قوة تحميل الرقاقة الكبيرة من كربيد السيليكون SiSiC / SiC مجداف / شعاع ناتئ مناسب لنظام التحميل والتعامل الآلي للروبوت لأنه يتمتع بأداء مستقر ، وعدم تشوه في درجات الحرارة المرتفعة وقوة تحميل الرقاقة الكبيرة. نظرًا لأن قسم مجداف الكابول مستقر بدون تشوه ، فمن الممكن صنع رقاقة بحجم أكبر باستخدام أنابيب الفرن الموجودة. يمكن تطبيق مجداف الكابول SiSiC / SiC ذو قوة تحميل الرقاقة الكبيرة على LPVCD على أساس معامل التمدد الحراري المماثل مع طلاء LPVCD ، والذي يطيل بشكل كبير دورة الصيانة والتنظيف ، ويقلل بشكل كبير من الملوثات.
المعلمات التقنية لكربيد السيليكون المرتبط بالتفاعل RBSIC:
| العنصر | وحدة | البيانات |
| درجة حرارة التطبيق | ℃ | 1380 |
| كثافة | ز / سم 3 | > = 3.02 |
| المسامية المفتوحة | % | <0.1 |
| مقياس مو للصلابة | 13 | |
| قوة الانحناء | الآلام والكروب الذهنية | 250 (20 ℃) |
| الآلام والكروب الذهنية | 280 (1200 درجة) | |
| معامل المرونة | المعدل التراكمي | 330 (20 ℃) |
| المعدل التراكمي | 300 (1200 درجة) | |
| توصيل حراري | ث / عضو الكنيست | 45 (1200 درجة) |
| معامل التمدد الحراري | K-1 * 10-6 | 4.5 |
| قلوية مقاومة للأحماض | ممتاز |
سمات:
أ. لا يتشوه في درجات الحرارة العالية وقوة تحميل الويفر كبيرة ؛
ب. مقاومة ممتازة للصدمات الحرارية وعمر خدمة طويل ؛
ج. معامل التمدد الحراري لمجداف الكابول صغير للغاية ، مما يطيل بشكل كبير دورة الصيانة والتنظيف ؛
وتقليل الملوثات بشكل كبير
أثاث الفرن الآخر مصنوع من سيراميك كربيد السيليكون
إلى جانب مجداف ناتئ SiSiC من كربيد السيليكون الملبد للتفاعل لتحميل الرقاقة ، ننتج أيضًا أثاث الفرن الآخر بما في ذلك عوارض كربيد السيليكون RBSIC / SISIC وأنابيب الفوهة وأنبوب الفوهة الحلزونية وأنبوب الفوهة الدوامة وأكسيد الخفافيش / لوحة الضبط المصنوعة من كربيد السيليكون SIC وأنابيب التبريد RBSIC .
ارتداء منتجات كربيد السيليكون RBSIC / SISIC المقاومة
نظرًا لأن منتجنا من كربيد السيليكون RBSIC / SISIC يتمتع بمزايا مقاومة التآكل الممتازة ومقاومة التآكل وعمر الخدمة الطويل ، يمكن أيضًا تصنيعه في بطانات مقاومة للتآكل يمكن تثبيتها بسهولة في معالجة الأنابيب أو الأعاصير.
